微振动测试系统

随着近些年来半导体行业的飞速发展，对于微细加工技术的要求也越来越高。微电子生产设备，高精度光学仪器等高灵敏度设备，针对其工作环境（如振动，噪声，电磁以及温湿度），尤其是振动条件提出了更苛刻的要求。针对此类振动幅值小，精度要求高，工作频率低的使用环境特征，常规的通用数据采集设备无法满足其测量评估要求。

微振动测试模拟

针对航天微振动测试模拟需求，瑞鸿科技提供完整的微振动测试与模拟的交钥匙解决方案，已有多家客户正在使用。

1. 微振动模拟发生器

2. 微振动配套环境实时

3. 较低可以模拟0.1mg正弦扫频

4. 测试可以达到ug级微振动测试

整个系统建立在隔振环境良好的实验室内，由高精度低噪声的微振动控制器、高精度低噪声微振动试验系统、高精度低噪声的传感器以及电脑组成。微振动发生试验系统包括高精度低噪声低失真的功率放大器、微振动发生器和冷却系统以相关的辅助设施实现。

为了保证整个系统的性能要求，采取了微振动采集仪低噪声高精度的设计和生产，同时选用高精度低噪声的微振动拾取器，配合低噪声算法软件，实现微振动的测试，保证整个系统达到0.01mg的测试精度。

优势

（1） 整个系统高精度，低噪声，动态响应好，失真度低，低噪声

（2） 公司整个针对微振动系统工程经验丰富，技术成熟

（3） 核心系统德国制造，技术先进，可靠性高

（4） 上海可以本地技术支持

（5） 有成熟案例

主要技术参数和指标

（1） 主要频率范围5Hz～100Hz。

（2） 振动加速度范围1mg～0.05g(可视实际环境工况而定)

（3） 控制精度mg级

（4） 振动方式：正弦、随机、冲击

（5） 负载重量：大于200kg

系统组成（非标定制）

微振动发生系统：包含低噪声低失真功率放大器、微振动发生器和冷却系统。功率放大器采用风冷，为高精度低噪声低失真的输出功率为15KVA。放大器采用较新技术的MOSFET功率晶体管，数字脉冲模式工作方式。不对称输入，具有高功效的大的带宽,针对于微振动试验的特殊要求，专门对攻放进行低噪声高保真高精度的优化设计，使攻放的信噪比优于80dB，失真度小于0.7%，针对于微振动的低励磁模式控制。微振动发生器装有自动气囊载荷补偿装置，确保在大负荷下能实现较大的振幅。针对微振动微笑振动控制的优化设计，使微振动发生器及时在微小振动情况下也能做到高响应精度发生，微振动发生器和放大器之间的连接电缆长5米。

微振动控制系统：振动控制设备的插件包括标准的数字信号处理面板，模拟-数字和数字-模拟转换软件，处理所有振动和冲击控制模式的标准软件。针对微振动专门优化硬件和软件，实现低噪声设计高精度控制。

微振动采集分析系统：为了保证整个系统的性能要求，采取了微振动采集仪低噪声高精度的设计和生产，同时选用高精度低噪声的微振动拾取器，配合低噪声算法软件，实现微振动的测试，保证整个系统达到0.01mg的测试精度。  

加速度传感器与附件（选件）：针对微振动试验要求，选用低噪声的高精度的传感器，以及高性能的放大器来保证微振动的试验完成。